高い時間分解能と空間分解能を持つ検出器の開発をめざす

株式会社日立ハイテクは、「見る・測る・分析する」をコア技術に、半導体検査装置、生化学自動分析・免疫検査装置などの分野で、長年、世界シェアトップクラスを誇る製品を有している企業です。
滋賀大学では、日立ハイテクや名古屋大学等と共同で超時空間分解電子顕微鏡のための検出器開発を行っています。現在、電子顕微鏡向けSOIピクセル検出器の読み出しシステムを開発しており、評価を進めています。今後は、コヒーレント超短パルス電子線の撮影が可能な高い時間分解能と空間分解能を両立するSOIピクセル検出器を開発して製品化へつなげていきます。